钛靶、锆靶、鎳靶、鉻靶

       铪的原子序數72，原子量178.49，熔點2227℃，沸點4602℃，密度13.31g/cm³，單質是一種帶光澤的銀灰色的過渡金屬，铪不與稀鹽酸、稀硫酸和強堿溶液作用，但可溶于氫氟酸和王水。

       铪濺射靶材的應用：引入氧氣分壓，可以用磁控濺射或反應濺射铪濺射靶，制備氧化铪薄膜。所得薄膜可用于多種用途，包括用于光子學的光學塗層、薄膜電阻、耐腐蝕性、核産品、集成電路中的栅極絕緣體和傳感器。